mi9700

产品详情

■独特检查算法

■充实单元支持精密检查

 

 

设备参数:

 

设备型号

MI9700

光源

红色LED

可承载面板尺寸

玻璃台面:715 (X) × 790(Y) mm

玻璃掩膜冶具单元:610(X) × 770(Y) mm

*检查面积

玻璃台面:660 (X) × 720(Y) mm

玻璃掩膜冶具单元:540(X) × 710(Y) mm

尺寸系统(W × D × H)

主部件:1,160×2,072×1,445mm

真空泵单元(选项):222×800×410mm

重量

主部件:950kg

真空泵单元(选项):7kg

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