台式场发射电镜能谱一体机
产品详情
高分辨场发射扫描电镜
肖特基场发射电子源
分辨率优于 2.5 nm @ 15 kV 卓越的低电压成像质量
世界上最快的场发射扫描电镜
内置全自动真空锁，15 秒抽真空实时地图导航，全面样品跟踪
使用最方便的场发射扫描电镜
耦合式电子光路设计
无需喷金直接观察不导电样品
工作距离三合一（SE / BSE / EDS）
场发射扫描电镜能谱一体机
原厂集成能谱仪
B（5）- Am（95）号元素探测
升级功能
飞纳台式场发射电镜能谱一体机可选配所有的样品杯硬件选件（参考 17-20 页），可选配孔径、颗粒、纤维统计分析测量系统和 3D 粗糙度重建等软件选件.
低电压成像 5.000x @3kV (SED)
历时 6 年的研发，荷兰飞纳公司于 2018 年推出了全球首套稳定运行的台式场发射（FEG）电镜能谱一体机Phenom LE，采用肖特基场发射电子枪（FEG），集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析于一体。飞纳台式场发射电镜操作简单，效率高，无需防震台和磁屏蔽， 无楼层要求，只需要一张承重 200kg 的桌子。
能谱面扫结果
飞纳台式场发射电镜能谱一体机专利腔室设计得到*的探测角度和工作距离，显著提高 X 射线的收集效率。该能谱采用稳定坚固的超薄 Si3N4 窗口，透过率在 0.26-0.6 KeV 低能量范围，是聚合物窗口的 2-3 倍，适合轻元素检测和低电压能谱分析。全能量范围平均透过率比聚合物窗口高 35%，进一步提高了能谱仪的 X 射线计数率。
产品参数
光学显微镜
放大 20-134 倍
灯丝材料
肖特基场发射电子源
加速电压
2 kV-15 kV 连续可调
能谱探测器
硅漂移探测器（SDD）
X射线分析模式
15 kV
电镜放大
* 500,000 倍
分辨率
优于 2.5 nm@15kV
抽真空时间
小于 15 秒
输出报告
DOCX
能量分辨率
＜123eV（Mn Kα）
探测器
标配背散射电子、二次电子探测器
放置环境
普通实验室或办公室、厂房
探测元素范围
B（5）- Am（95）号元素
冷却方式
无液氮 Peltier 效应电制冷
窗口
Si3N
